平台简介

     微纳加工与测试平台是北大深研院大型仪器设施的重要组成部分，是开展校内外教学和科研的重要基地。平台充分结合北京大学的综合学科优势和粤港澳大湾区的电子信息产业优势，打造一流的微纳加工平台，支撑新型半导体光电器件、存算一体芯片、后摩尔三维集成、柔性电子系统等前沿领域的研究。平台拥有半导体和集成电路微纳加工相关设备仪器70余台（套），原值近亿元，具备“光刻、沉积、刻蚀、退火”等完备的工艺模块。

    光刻模块：投影光刻机 （分辨率1µm）、电子束曝光机（分辨率60nm）；沉积模块：电子束镀膜设备、原子层沉积设备、磁控溅射台、等离子体增强化学气相沉积仪（PECVD)；刻蚀模块：反应刻蚀（RIE）、感应耦合等离子刻蚀（ICP）；退火模块设备：退火炉、快速退火炉（RTP）；测试设备：台阶仪、半导体测试仪、霍尔测试系统、扫描电子显微镜、原子力显微镜、薄膜n-k分析仪、红外光谱仪、示波器；其他特色设备：超临界流体反应仪、手套箱。
    平台充分结合北京大学的综合学科优势和粤港澳大湾区的电子信息产业优势，协同香港科技大学攻关场序显示技术，为我国打破美日在光机领域的垄断奠定底层共性技术基础，相关技术已获得多项国家及地方级奖项，并作为粤港澳大湾区的科创代表，在科创合作模式及平台人才培养方面获得 CCTV13 “东方时空—新质生产力”专题报道及CCTV2 “经济新闻联播——加油，科研人”报道。