收费标准
发布时间：2025-02-12 ，
| 北大深研院微纳加工与测试平台收费汇总表 | |||||
| 序号 | 仪器名称 | 仪器编号 | 规格型号 | 操作方式 | 收费标准 |
| 1 | 等离子体增强化学气相沉积仪 | 2021002911 | PlasmaPro 100 PECVD | Windows | 900元/时 |
| 2 | 等离子增强化学气相沉积与反应刻蚀复合仪 | 20140734 | SKE102012 | Windows | 560元/时 |
| 3 | 磁控溅射机4# | 20140733 | SKE102011 | / | 670元/时，20元/nm (贵金属) |
| 4 | 磁控溅射台3# | 20180838 | Msp3200 | Windows | 330元/时，20元/nm (贵金属) |
| 5 | ALD-绝缘体 | 暂无 | ALD | 非电脑系统 | 160元/时，50元/nm |
| 6 | ALD-半导体 | 2024003622 | Exploiter E200SP | Windows | 380元/时，50元/nm |
| 7 | 光刻机MDA-400M | 20141403 | MDA-400M | 非电脑系统 | 250元/时 |
| 8 | 光刻机URE-2000M | 20130384 | URE-2000M | 非电脑系统 | 180元/时 |
| 9 | 半导体测试仪B1500A | 20110061 | B1500A | Windows | 270元/时 |
| 10 | 半导体测试仪B1505A | 20190630 | B1505A | Windows | 370元/时 |
| 11 | 半导体测试仪B1500A Pro | 2024001911 | B1500A | Windows | 420元/时 |
| 12 | 半导体测试仪B1500A Pro2 | 2022222793 | B1500A | Windows | 350元/时 |
| 13 | 半导体参数分析仪4200 | 20140293 | 4200-SCS | Windows | 240元/时 |
| 14 | 薄膜特性分析仪 | 2021000951 | n&k-1280 | Windows | 340元/时 |
| 15 | 傅里叶变换红外光谱仪 | 2021002751 | 布鲁克VERTEX70V | Windows | 300元/时 |
| 16 | 原子力显微镜 | 20150237 | 5420AFM/SPM | Windows | 270元/时 |
| 17 | 探针台轮廓仪 | 20150629 | 布鲁克DEKTAK XT | Windows | 110元/时 |
| 18 | 霍尔效应测试仪 | 20140192 | HMS-3000 | Windows | 100元/时 |
| 19 | 霍尔效应测试仪Pro | 2024001912 | 翠海佳城CH350B | Windows | 210元/时 |
| 20 | 超临界流体反应仪 | 20190067 | P500-R180GP | 非电脑系统 | 410元/时 |
| 21 | 快速退火炉 | 2021000734 | AccuThermo AW610 | 非电脑系统 | 160元/时 |
| 22 | 脉冲可调瞬态光电压与瞬态光电流量测系统 | 20200947 | E2 | 非电脑系统 | 170元/时 |
| 23 | 量子效率EQE测试系统 | 20170960 | SCS1011-PKUSZ | 非电脑系统 | 160元/时 |
| 24 | OLED蒸镀设备 | 20150610 | LN-1084SC | 非电脑系统 | 170元/时 |
| 25 | 手套箱1# | 20150176 | UNIVERSAL(1800/750) | 非电脑系统 | 380元/时 |
| 26 | 手套箱2# | 2021002735 | UNIVERSAL2440/750/900 | 非电脑系统 | 380元/时 |
| 27 | 电子束光刻机EBL | 暂无 | 中科科仪EBL-6900 | Windows | 430元/时 |
| 28 | 电子束镀膜设备 | 暂无 | 矢量科学-SL755 | Windows | 440元/时，30元/nm (贵金属) |
| 29 | ICP刻蚀设备 | 暂无 | 矢量科学-ACE150 | Windows | 440元/时 |
| 30 | 脉冲函数任意噪声发生器 | 2023002589 | keysight 81160A | 非电脑系统 | 110元/时 |
| 31 | 数字源表 | 2023002590 | keysight B2902B | 非电脑系统 | 70元/时 |
备注：
- 1. 本收费标准中涉及的设备机时费均为用户自行操作；如需委托加工，则收费标准*2
- 2. 实验室安全培训、考试、无尘服定做：300元/人
- 3. 设备培训：收取对应设备6小时机时费（每次2小时，共3次）
- 4. 违规处罚，按照《北大深研院微纳加工测试平台处罚条例》执行
- 5. 委托加工请提供详细process flow，收费折扣比例根据工艺流程复杂度调整