超临界流体技术

当物质的温度和压力超过其临界点时，会进入超临界状态，此时称之为超临界流体，这是不同于液体和气体的物质的第四相态。一般而言，超临界流体如气体一样几乎没有表面张力却具有近似液体的密度，同时有着高溶解度和高渗透能力，为超临界流体应用于各种材料和电子器件奠定了基础。课题组张冠张老师利用交叉学科的背景优势，深入开展了超临界流体与电子器件和材料之间的一系列研究，成功修复包括RRAM、TFT、GaN、HEMT、CNT等在内的多种器件内部缺陷（尤其对制备完成之后的器件依然有效）、修饰了材料的特性。该研究主题不仅极具创新性，同时兼顾绿色环保和可持续发展，并且有多项应用技术突破。超临界流体技术应用于电子器件有以下优点：首先具有高搭配性，易于结合一般电子器件的制程；其次具备低温特性，热效应大幅降低；再次，可于器件制备完成后进行，具相当高的实用性；并且，可批次量产。此技术应用在材料与电子工业，既能提高电子器件性能与价值，又能让工厂能回收循环利用大量二氧化碳，可谓一举多得。

图4-1 超临界流体示意图

图4-2 本实验室的超临界流体设备图