实验室简介

“薄膜晶体管与先进显示实验室”设立在北京大学深圳研究生院，是从事薄膜晶体管基础研究的深圳市重点实验室，同时也是北京大学有源显示中心的深圳实验室。该实验室拥有500平方米的洁净实验室，专职教师十余人以及博士后数十人。实验室目前已初步建立了氧化物TFT材料、器件和电路的研究平台，拥有双室磁控溅射台、RIE、PECVD、腐蚀清洗机、等离子去胶机、等离子清洗机、旋转冲洗甩干机、宽谱光源、台阶仪、光学膜厚仪、退火炉、探针台、半导体测试仪等设备。

实验室的目标是借助北京大学深圳研究生院良好的软硬件环境，发挥北大的优势，开展人才培养和科学研究，构建一个面向产业、面向国际、具有核心竞争力的高端研发平台。实验室扎实开展教学与科研工作，立足于科技前沿，结合产业发展需求，已经取得了大量科研成果。近几年，课题组主要成员已发表英文论文100余篇。申请发明专利150多项，已授权发明专利70多项（其中美国授权发明专利6项）。特别是在氧化物TFT关键技术研发方面取得了一系列成果，某些成果达到国际先进水平，部分专利成果已经被业界用于量产品开发之中，取得了显著的经济和社会效益。