超临界材料与电子实验室
Superctitical Materials and Electronics Laboratory

恭喜刘凯同学在知名期刊ACS Applied Materials & Interfaces上发表论文

时间:2022-02-14

恭喜刘凯同学在一区国际期刊ACS Applied Materials & Interfaces上发表了题为" Supercritical Ammoniation-Enabled Interfacial Polarization for Function-Mode Transformation and Overall Optimization of Thin-Film Transistors"的期刊论文

影响因子:10.382

文章网页链接https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsami.1c09673

文章简介

薄膜晶体管(TFT)在日益复杂的显示领域中得到了广泛的应用。尽管制造增强型TFT的工艺成熟,但缺乏实现耗尽型TFT的简便方法限制了互补型电路的实现,从而导致相对较高的功率。在这里,引入超临界流体技术来精心设计和调整界面,为TFT的功能模式转换提供了机会。通过利用超临界辅助氨化 (SCA) 处理,界面极化引起阈值电压的负移(从0.2到-9.8 V),这使得TFT在没有复杂的电容器集成电路的情况下保持正常导通状态。这种方便的技术无需额外的制造工艺来实现功能模式转换,因此可以在相同工艺下制造全模式TFT。此外,迁移率(从2.08增加到17.12 cm2 V-1 s-1)、漏电流(从1.33 × 10-11降低到2.22 × 10-12 A)、滞后(从11.2降低到0.2 V)的全面优化,同时实现开/关电流比(从9.65 × 104增加到7.98 × 106)。基于对电学和材料表征的联合分析,建立了反应模型,以便更清楚地了解界面极化过程。总体而言,这种低温SCA处理提供了一种环境友好的策略,通过界面工程调节电子器件的功能模式并同时优化器件性能,在促进互补、低功耗电路的实施方面展现出前景。