研究方向

♦ 多场耦合等离子体放电仿真与模拟研究真空镀膜系统仿真技术；

♦ 高离化、快速沉积真空薄膜制备技术与装备研究；

♦ 金属有机载气的制备与应用；

♦ 基于离子束的微结构直写与打印技术研究。