北京大学新材料学院吴忠振课题组 Wu Research Group

	高时间分辨等离子体诊断系统研制
	基于脉冲的等离子体放电方式逐渐成为真空镀膜的主流，单个脉冲内的等离子体过程对高时间分辨诊断系统也提出了更高的要求，鉴于目前主流的时间平均诊断方式和低时间分辨率的脉冲诊断技术，实验室开发了超高时间分辨率的等离子体发射光谱仪和质谱仪，其时间分辨率分别可达2 ns和1 μs，可对脉冲放电等离子体物理及单个离子进行时间跟踪，对揭示脉冲放电本质具有重要意义。

高时间分辨等离子体诊断系统研制