2021年10月29-31日,由中国机械工程学会表面工程分会主办,北京大学深圳研究生院承办的2021高功率脉冲磁控溅射技术与应用专题会议在广东深圳成功召开。此次会议采取线上线下相结合的方式召开,各位嘉宾共话HiPIMS技术的发展与未来。此次会议场面热烈,共吸引了150多位行业领域内人士现场参会。
开幕式上,北京大学深圳研究生院牛宏伟副院长致欢迎辞,他表示在北京大学深圳研究生院建院20周年之际,在高功能磁控溅射技术和应用发展之际,我们齐聚一堂共同探讨这一核心性技术以及其在社会发展中即将产生的作用。中国机械工程学会表面工程分会主任委员雷明凯教授通过回忆往届会议和HiPIMS发展历程,望参会各位专家代表携手推进HiPIMS技术的发展。哈尔滨工业大学田修波教授、朱嘉琦教授先后致辞,感谢学会提供平台,感谢北京大学深圳研究生院的支持,预祝大会圆满成功。
10月30日-31日上午为特邀报告环节,分别由田修波教授、雷明凯教授、朱嘉琦教授、吴爱民教授、周艳文教授和冷永祥教授主持。
10月30日, 来自葡萄牙的Fábio Ferreira教授线上作了题为“Correlation between substrate ion fluxes and properties of DLC films deposited by HiPIMS”的报告;哈尔滨工业大学朱嘉琦教授作了题为“高能脉冲溅射对红外光学透明件的镀膜强化技术”的报告;台湾明治科技大学李志伟教授线上作了“Fabrication of titanium oxide coatings using superimposed highpower impulse and medium frequency magnetron sputtering- Role of targetpoisoning ratio”的报告;北京科技大学庞晓露教授线上作了“界面强结合膜层开裂对基体损伤机制及防护研究”的报告;吉林大学张侃教授作了题为“高硬高韧薄膜材料的微结构设计及环境自适应调控”的报告;东莞市华升真空镀膜科技有限公司林海平总经理作了“HiPIMS+Arc镀膜技术平台(HA803)”的报告;大连理工大学雷明凯教授作了“高功率脉冲磁控溅射等离子体模拟研究”的报告;中科院宁波材料技术与工程研究所汪爱英研究员线上作了题为“面向海洋腐蚀防护的HiPIMS涂层关键技术”的报告;北京印刷学院张海宝博士作了题为“高功率脉冲磁控溅射沉积二氧化钒热致变色薄膜的研究”的报告;西南大学孙德恩教授作了题为“硬质薄膜的结构设计与耐蚀性实现”的报告;北京交通大学金杰教授线上作了题为“复合离子束制备高熵涂层”的报告;广东省科学院新材料研究所郭朝乾高工作了题为“类金刚石薄膜的应力调控及摩擦学行为研究”的报告;贵州大学杜昊副教授作了题为“双极高功率脉冲磁控溅射沉积电绝缘涂层:低能离子轰击和涂层生长”的报告。
10月31日上午哈尔滨工业大学田修波教授作了题为“高功率脉冲磁控溅射的新逻辑”的报告;北京大学深圳研究生院吴忠振副教授作了“高离化磁控溅射的特点与工业应用”的报告;台湾逢甲大学何主亮教授线上作了题为“HiPIMS的生医镀膜应用”的报告;辽宁科技大学周艳文教授作了题为“高功率脉冲驱动PECVD的疏水DLC(F)的耐蚀损行为”的报告;中科院兰州化学物理研究所张斌研究员线上作了题为“HiPIMS制备高导电强耐蚀CrN薄膜及其性能研究”的报告;广东汇成真空科技股份有限公司李志方副总经理作了题为“HiPIMS技术开发及应用”的报告。
随后的讨论环节非常热烈,代表们发表了对HiPIMS技术的看法、目前国内该行业发展所面临的问题及困难,专家代表们各抒己见。
31日下午部分参会代表参观了广东省两家知名高新技术企业,东莞华升真空镀膜科技有限公司和深圳市三束镀膜技术有限公司。
东莞华升真空镀膜科技有限公司一直专注于真空镀膜工艺开发及真空镀膜设备制造,为国内的切削刀具、零部件、电子元件等基础工业装备提供专业的涂层服务与技术支持。
深圳市三束镀膜技术有限公司是一家专业从事现代真空镀膜核心技术开发和设备制造的技术型国家高新技术企业。参观期间,代表们还就镀膜工艺展开了深度讨论、也探讨了镀膜行业现状及发展趋势。在参观完两家有代表性的企业之后,为期两天的一场高水平学术盛会圆满结束。
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