北京大学新材料学院吴忠振课题组 Wu Research Group
薄膜技术与装备实验室

吴忠振副教授及崔岁寒特聘研究员应邀参加2023高功率脉冲磁控溅射技术与应用专题会议

时间:2023-11-01

2023年10月20-22日,北京大学深圳研究生院吴忠振副教授、崔岁寒特聘研究员参加了“2023高功率脉冲磁控溅射技术与应用专题会议”会议由中国机械工程学会表面工程分会主办,西南大学材料与能源学院承办的。

 

会议开幕式由哈尔滨工业大学田修波教授主持,中国机械工程学会表面工程分会主任委员、大连理工大学雷明凯教授代表主办方对到会的代表表示欢迎,西南大学材料与能源学院院长徐茂文教授代表承办方致词。

 

会议采取线上线下相结合的方式进行,众位嘉宾共话HiPIMS技术的发展与未来,会议场面热烈,共吸引了190多位行业领域内人士现场参会。上午的特邀报告环节,吴教授作了题为“高功率磁控溅射及其工业化应用”的报告,下午分享环节崔研究员也作了精彩分享。

 

吴教授报告中分享了科技成果能否工业化的关键在于创新产品的壁垒,归根结底要看市场是否有需求、产品是否能批产、壁垒是否能给足够的时间。在此基础上,吴教授介绍了课题组最新研发了连续高功率磁控溅射技术及其在软基体强化、陶瓷封装基板以及柔性覆铜板方面的产业化应用探索。

 

崔研究员以“连续高功率磁控溅射技术放电特性的仿真研究”为题作了精彩分享,报告分享了连续高功率磁控溅射技术对等离子体放电最主要的影响是背景温度和溅射循环性能,基于此重新设计的仿真模型可以实现对连续高功率技术的精确仿真,并为装备设计、放电控制、靶材刻蚀、涂层沉积等多个方面提供理论指导。

 

 

会后代表们就高功率脉冲磁控溅射技术、高通量制备技术、高熵氮化物涂层及金属双极板表面防护涂层的制备、检测等进行了热烈讨论。分享了在科研过程中遇到的实际问题及解决方案,并就高校及校企间的进一步合作达成初步意向。