台阶仪说明书

一、打开电源：

1、打开台阶仪背后的主机电源，打开计算机

二、测试：

1、双击桌面的“shortcut to NanoMap.exe”打开操作界面

2、将样品放在台阶仪托盘上(必须保证样品覆盖托盘的正中心点，否则会探针降落在托盘上损坏探针)

3、点击“stage center”，托盘开始往探针正下方移动

4、托盘停止移动后，点击“Auto Z Load”，探针开始自动下降

5、探针下降结束后，调节XY轴的位置，选择待测位置，选好后点击“Run”，开始扫描

6、扫描完成后，点击“filter”过滤掉环境噪声è点击“Enable Cursor”激活标度线è点击“Cursor A”激活红色标度线，左击、右击选择好减平区域è点击“Level”减平测量曲线è点击“Cursor B”，激活蓝色标度线，左击、右击选择台阶区域è点击“Step Measure”得到台阶的膜厚数据

7、点击“Sample Unload”卸载样品

三、关机：

1、选择“File”主菜单下的“exit”退出程序

2、关闭计算机，关闭主机

四、注意事项：

1、使用中可修改“Scan Distance”改变测量距离，修改“Run”活动条的位置以改变选区移动速度，但不能修改其他“Measurement”区的参数

2、处理曲线噪声过程中，可以改变“1st Order”的尺寸大小得到理想曲线，一般设为5-30 um

3、测量30 nm以下的台阶样品，尽量在早晚未开空调等外围设备的条件下测量，这样可以得到更准确的数据