● 多场耦合等离子体放电仿真与模拟技术研究；

● 高离化、快速沉积真空镀膜技术与装备研发；

● 基于化学合成的金属有机载气的合成；

● 面向汽车、电子、工程、能源等方向开展功能涂层与薄膜研究；

● 基于离子束的微结构直写与打印技术研究。

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