薄膜晶体管与先进显示重点实验室
Thin Film Transistor and Advanced Display Lab

IEEE EDL 二月刊发表我实验室论文

时间:2015-01-29

国际微电子领域权威期刊IEEE Electron Device Letters今年第二期刊登了我实验室论文“1/f Noise Expressions for Amorphous InGaZnO TFTs Considering Mobility Power-Law Parameter in Above-Threshold Regime”(文章链接:http://dx.doi.org/10.1109/LED.2014.2378251)。

非晶IGZO-TFT作为新一代平板显示的关键器件,是近年来的研究热点。低频噪声(1/f噪声)是无损检测器件栅绝缘层质量的有效手段。对非晶IGZO-TFT,理清噪声的物理机理,建立准确的表征方法十分重要。传统的MOSFET,判断低频噪声机制主要有三个理论:McWhorter载流子数量波动理论;Hooge载流子迁移率波动理论;G. Ghibaudo载流子数量波动结合迁移率波动理论。与MOSFET不同,TFT沟道区存在陷阱态。载流子迁移率随电荷密度的增大而增大,能以幂律参数(power-law parameter)表征。本论文从G. Ghibaudo的载流子数量波动理论出发,理清了噪声特性与幂律参数的关系,建立了对线性区和饱和区有效的低频噪声模型,并指出,传统的McWhorter理论和Hooge理论无法准确表征TFT的噪声特性。

该论文的第一作者为何红宇博士,在此向他表示祝贺。此项研究是在深圳TFT与先进显示重点实验室完成,受NSFC(61274084)和 深圳科技计划(JCYJ20120829170028522)项目的赞助。